|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
小型薬液用直動2?3ポートソレノイドバルブ LVM
流體制御用機(jī)器 ? 2?3ポートソレノイドバルブ
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?低発塵、禁油、メタルフリー ※接液部
?アイソレイト構(gòu)造
ダイヤフラムにより使用流體領(lǐng)域からソレノイド駆動部を隔離。
?消費(fèi)電力：1.0W以下（省電力回路付）
?容積変化量（ポンピングボリューム）：0.01μL以下
| シリーズ | 弁構(gòu)造 | 弁形式 | 使用圧力範(fàn)囲 | オリフィス徑（mm） |
|---|---|---|---|---|
| LVM07 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. | -75kPa?0.1MPa | 0.8 |
| LVM09 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(ベース配管) |
| LVM10 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.25MPa | 1.4 |
| LVM15 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.25MPa (最大0.6MPa) | 1.6 1(高圧タイプ) |
| LVM20 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.3MPa (直接配管は0.25 MPa) | 2 |
| LVM1□ 直接配管形 ベース配管形 | 直動ポペットタイプ | N.C. | 0?0.25MPa | 1.5 |
| LVM3□ 直接配管形 ベース配管形 | 直動ポペットタイプ | N.C. | ?90kPa?0.2MPa | 5 |
