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檢測(cè)開(kāi)關(guān)

數(shù)字式流量開(kāi)關(guān) PFM7

    ?對(duì)應(yīng)氬氣（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合氣體（Ar＋CO2）。
    ?可實(shí)現(xiàn)保護(hù)氣體的流量管理、數(shù)值管理。
    ?設(shè)定最小單位：0.01L/min。
    ?重復(fù)操作精度：±1%F.S.。
    ?無(wú)潤(rùn)滑脂。
    ?將流量調(diào)節(jié)閥一體化（省配管、省空間）。
    ?響應(yīng)時(shí)間：可選擇50ms、0.5s、1s、2s。
系列適合流體額定流量范圍（L/min）
PFM7干燥空氣、N2、Ar、CO20.2～10（0.2～5）
0.5～25（0.5～12.5）
1～50（1～25）
2～100（2～50）
（　）為CO2的值
PFM7-X731對(duì)應(yīng)Ar＋CO2的混合氣體0.2～7
0.5～25
0.5～20
1.0～50
1.0～40
2～100
2～90
2～80

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