溫調(diào)機器 » サーモチラー - 製品一覧
|
|
サーモチラー／高機能タイプ HRZ
産業(yè)用通信機器／無線システム ? 産業(yè)用通信機器 DeviceNet 対応機器産業(yè)用通信機器／無線システム ? その他 RS232C 対応機器
産業(yè)用通信機器／無線システム ? その他 RS485 対応機器
溫調(diào)機器 ? サーモチラー（循環(huán)液溫調(diào)裝置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中國?臺灣?韓國?シンガポール
マレーシア?日本のみ限定出荷品
マレーシア?日本のみ限定出荷品
-
?高い溫度安定性、ワイドな溫度レンジ、故障診斷、外部通信など充実裝備で
半導體プロセス裝置に実績多數(shù)。
?各種安全規(guī)格に対応。
?UL, SEMI規(guī)格適合、CEマーキング。
| シリーズ | 設定溫度 範囲 | 冷卻能力 | 溫度 安定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液（60％） 清水?脫イオン水（純水） |
