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検出スイッチ

デジタルフロースイッチ PFM7

    ?アルゴン（Ar）、二酸化炭素（CO2）、混合ガス（Ar＋CO2）対応
    ?シールドガスの流量管理、數(shù)値管理が可能
    ?設(shè)定最小単位：0.01L/min
    ?繰り返し精度：±1%F.S.
    ?ノングリース
    ?流量調(diào)整弁一體化（省配管、省スペース）
    ?応答時(shí)間：50msec?0.5sec?1sec?2secより選択可能
シリーズ適用流體定格流量範(fàn)囲（L/min）
PFM7乾燥空気、N2、Ar、CO20.2～10（0.2～5）
0.5～25（0.5～12.5）
1～50（1～25）
2～100（2～50）
（?。─螩O2の場(chǎng)合
PFM7-X731Ar＋CO2混合ガス対応0.2～7
0.5～25
0.5～20
1.0～50
1.0～40
2～100
2～90
2～80

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